Research Projects

• 应用于PLC晶圆激光切割装置及带有该装置的皮秒激光器 , 2018-12-05 -2019-12-04
• 纳秒脉冲电化学热力刻蚀微细加工技术研究 , 2013-01-01
• 空心脉冲激光管内热力效应对电极反应的作用机制及微制造研究 , 2012-01-01
• 高能纳秒脉冲激光的空泡电化学选择性刻蚀技术研究 , 2011-01-01
• 激光热-力学效应的光电化学应力刻蚀技术基础研究 , 2010-01-01
• 基于柔性掩模的暂态光电化学三维微刻蚀技术研究 , 2009-01-01
• 基于柔性掩模的光电化学三维微刻蚀技术研究 , 2009-01-01
• 光电化学微加工与检测技术研究 , 2008-01-01
• 电化学-激光掩模电极微加工技术研究 , 2008-01-01