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课程介绍：本课程是为高等工科院校“材料科学与工程”专业的学生开设的一门重专业必修课。本课程通过学习典型微电子器件的概念与构造、典型材料的结构与性质以及微电子工艺的特点及用途，使学习者熟悉典型微电子器件的原理构造、掌握微电子关键工艺的基本原理、方法、用途，熟悉主要工艺流程。为后续专业课程学习打下坚实基础，也利于学生在材料等相关领域的专业素养的提高，，培养出具有爱国情怀、社会责任感、创新精神、创业意识的工程技术人才。

面向对象：大三下学期

学科：材料科学与工程

授课教师：张相召，张晓禹，杨建

开课学期：春学期

课程号：07410234

课程类型：本科生课程

是否精品课程：否

教材及参考书：集成电路制造技术：原理与工艺；王蔚, 田丽, 任明远编著；电子工业出版社；2016年第二版