IGBT高能离子注入工艺开发及实验验证
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所属单位:500190
负责人姓名:王权
项目性质:IGBT高能离子注入工艺开发及实验验证
立项时间:2023-04-21
计划完成时间:2024-12-01
开始日期:2023-04-21
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