聚焦离子束可控加工纳米带及场效应晶体管阵列化研究
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所属单位:500190
负责人姓名:王权
项目性质:聚焦离子束可控加工纳米带及场效应晶体管阵列化研究
项目级别:3
立项时间:2020-01-01
计划完成时间:2021-12-31
结项日期:2021-12-31
开始日期:2020-01-01
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