基于飞秒激光的大规模阵列石墨烯纳机电谐振器制备方法等两件专利
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所属单位:500190
负责人姓名:王权
项目性质:基于飞秒激光的大规模阵列石墨烯纳机电谐振器制备方法等两件专利
立项时间:2025-06-30
计划完成时间:2026-06-30
结项日期:2026-03-17
开始日期:2025-06-30
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