一种氮掺杂SiC基底的外延石墨烯背栅晶体管的制备方法
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所属单位:500190
负责人姓名:王权
项目性质:一种氮掺杂SiC基底的外延石墨烯背栅晶体管的制备方法
立项时间:2022-01-01
计划完成时间:2023-01-01
结项日期:2022-04-05
开始日期:2022-01-01
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