• 其他栏目

    钱鹏飞

    • 教授 博士生导师 硕士生导师
    • 主要任职：系主任（机械电子工程系）
    • 性别：男
    • 毕业院校：浙江大学
    • 学历：博士研究生毕业
    • 学位：博士
    • 在职信息：在本单位任职
    • 所在单位：机械工程学院
    • 学科：机械电子工程

    访问量：

    开通时间：..

    最后更新时间：..

    当前位置 中文主页 >> 科学研究 >> 科研项目
    面向半导体晶圆双面超精密研抛的无摩涡阻气动系统及其高精度控制策略研究

    点击次数：

    所属单位：500190

    负责人姓名：钱鹏飞

    项目性质：面向半导体晶圆双面超精密研抛的无摩涡阻气动系统及其高精度控制策略研究

    项目级别：1

    立项时间：2025-09-15

    计划完成时间：2029-12-01

    开始日期：2026-01-01